一、國外真空閥門發展
世界上真空閥門技術先進的國家主要有俄羅斯、美國、法國、英國、德國、日本等,從20世紀初到現在,這些國家的真空閥門品種和規格都得到較快的發展。世界主要真空設備廠家,例如巴爾蔡斯公司、雷寶德-海拉斯公司、西歐核子中心和德國電子同步加速器研究所等,都是真空閥門的專業生產廠家,能按國際標準研制各種真空閥門。
當前,在國外的各類真空系統中,由于真空插板閥通導能力最大,結構簡單,性能可靠,所以應用最廣泛。由于全金屬密封的插板閥的結構較復雜,壽命較短,性能可靠性較差,應用范圍受到限制。所以除非用全金屬閥門才能保證整個真空系統性能要求的場合外,一般都采用氟橡膠密封的插板閥。如真空鍍膜機、離子注入機、各種表面物理試驗儀器及大型加速器等都把氟橡膠密封的插板閥作為主要閥門。此外,國外應用真空閥門的另一個特點是主要的驅動形式為手動、氣動及電動,其氣動形式的應用最為廣泛。
二、國內真空閥門發展
國內真空閥門生產廠家比較知名的當屬有60多年真空閥門制造歷史的寧波市儀表閥門廠,生產的真空閥門有真空插板閥、真空擋板閥、真空球閥、真空蝶閥、真空充氣閥、真空壓差閥、真空電磁閥、真空隔膜閥、真空微調閥等等,多達30多個品種,400+型號,可以完全滿足各類企業客戶所需,工藝水平已經達到比肩國外的水準,在電子、半導體、集成電路、真空測量、檢漏、離子束、電子束、激光、可控熱核反應及航空航天等領域得到廣泛應用,這些閥門性能先進,工作穩定可靠,保證了這些裝置的正常運轉,標志著我國真空閥門具有相當高的技術水平。
三、發展前景
今后發展真空閥門應重視如下問題。
1、更新換代要重視真空閥門的更新換代問題,早期的真空閥門若發現結構復雜,操作不便,給真空裝置運行帶來不便的話,希望能用同類規格的真空閥門更換。如早期手動的真空閥門可以用電動、氣動真空閥門更換,以實現真空系統的自動化操作。
2、節能要加強節能型閥門的研制和開發。用新型的密封材料、電磁相結合的驅動原理,研制新的節能型真空閥門。
3、大型手、電兩用高超高真空加強大型手、電兩用高超高真空插板閥的研制和開發。當前,我國生產的這類閥門有CC型(手動)、CCD型(電動)、CCQ型等幾種,但口徑在DN500以上的閥門是薄弱環節。電動閥門是實現真空系統自動控制的重要元件。應利用光電技術改進現行電動機構行程限位開關結構,以保證閥門開啟、關閉的可靠性。
4、超高真空閥門要加強超高真空閥門的研制和開發。要從閥門的傳動原理、密封材料、結構形式等入手,吸取國外同類超高真空閥門優點的基礎上,開發新產品。如超高真空微調閥,國內產品不多,滿足不了超高真空裝置氣流流量調節需要,要改進加工工藝,提高這類閥門的使用壽命。
5、標準化和通用化要加強真空閥門標準化、通用化工作。要在吸取國外同類閥門先進技術的基礎上,改進閥門設計,使我國各類真空閥門,從性能到結構、外觀能達到國外同類閥門的先進水平。除滿足我國真空裝置的需要外,力爭將我國的真空閥門打入國際市場。